没有,短时间内也不会有。
“往这个方向钻,大概率要撞出一地脑花。”
前世,全世界研究光刻机的科学家,沿着157nm光源这个方向,钻了近二十年。
还没有钻研出成果。
李建昆是了解过光刻机发展史的,对于这个光刻机历史上最大的碰壁,自然清楚。
那位光学专家放下英雄牌钢笔,停止了计算,目露迷茫,请教道:“李先生,这样说来,您认为第四代光刻机该使用什么光源继续研究呢?”
现场众人都很爱这位同志,他问的问题,可以说都是技术秘密。
一般人还真没脸问,但他的话,像个技术宅,问得很坦然,一副求知若渴的模样。
问题是,这样的技术秘密……看看刚才阿麦斯的人就知道,这位李先生能说吗?
“还是193nm光源。”李建昆回道。
嚯!
他还真说了,没有片刻犹豫。
不比不知道……
只是这样的答案,现场许多人不太信服,尤其阿麦斯的人。
“信口雌黄!”
沃茨重重地哼一声道:“阿麦斯为什么放弃了193nm光源,转而研究157nm光源?因为193nm光源这条路根本走不通,它连65nm的最小工艺都达不到!”
这个问题其实之前已经讨论过。
光学专家用力点头:“是啊,上帝堵住了这条路,我刚才说过,我敢拿性命担保,193nmArF激光光源,绝对无法延伸到65nm的技术节点。”
陈春仙默默说,我也敢赌命。
“先生,给您一句劝告,”李建昆望向说话的光学专家,“我在您身上看到一种对于科学的执着,近乎偏执,像您这种性格的人,往后最好不要随随便便拿命出来赌。”
光学专家:“……”
陈春仙:“……”
李建昆继而又扭头看向身边的沃茨。
“谁告诉伱193nmArF激光光源,无法突破65nm的技术节点?不要用你们的无能,来度量所有人。”
光学专家心想,这个“你们”,包不包括我啊……
“大言不惭!”
沃茨怒不可遏:“这是世界光学领域公认的事实,近乎真理!怎么,你要挑战真理?”
“又——如何?”李建昆不咸不淡道。
沃茨怒极反笑:“你如果能把193nmArF激光光源,别说突破了,只要能延伸到65nm的技术节点,我、我……”
“我听着。”李建昆指指耳朵。
“我……就承认你们的光刻机技术世界第一。”
“这是句废话。”李建昆撇撇嘴道,“到达了这个工艺水平,我们不是世界第一是什么,用得着你承认?
“再说,我们已经是世界第一!
“你们使用的157nm光源技术,只是我们抛弃不用的、没有长远研究价值的方案罢了。
“你觉得以我们掌握了第四代光刻机的技术水
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